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      厲害了 這條今天在上海啟動的8英寸中試線“超越摩爾”
      發布時間: 2018.08.07

        10日上午,國內首條,全球領先,兼容CMOS的8英寸“超越摩爾”研發中試線在上海嘉定正式啟動。由上海微技術工業研究院構建的這條有望影響中國半導體產業發展的中試線,旨在打造中國完整的“超越摩爾”產業鏈基礎上,進一步推動中國“超越摩爾”技術和物聯網創新應用快速發展,引領全球。


        日常生活中,我們每時每刻都被一種名叫傳感器的“隱形者”包圍著。僅以形影不離的智能手機為例,其內部就裝載了加速度計、MEMS麥克風、指紋識別等二三十個傳感器。在智能硬件、工業制造、健康醫療、車聯網等諸多領域,傳感器都有廣闊的應用空間。近年來國內傳感器市場年均增速超過20%,市場規模超千億元。

        目前,全球傳感器市場主要由美國、日本等幾家龍頭企業主導。國外半導體巨頭遵循著英特爾創始人之一戈登·摩爾提出的“摩爾定律”狂飆突進,即集成電路上可容納的元器件數目每隔18至24個月會增加一倍,性能隨之提升一倍,技術創新一路領先。中國企業一路追隨,但始終難以望其項背——中國八成以上傳感器依賴進口。核心技術尚未突破、糾纏于低端競爭等因素,長期制約著國內傳感器產業的發展。

        那么,我們有沒有可能甩掉“摩爾定律”,實現彎道超車呢?據估算,“摩爾定律”技術路線的投資量級是百億美元,而“超越摩爾”技術路線的投資量級僅為億美元,且產品種類豐富。遵循這一思路,2013年,聚焦“超越摩爾”領域的上海微技術工業研究院成立,其使命是助力上海在傳感器等新興領域有所突破。

        縱觀我國超越摩爾領域現狀,雖經歷多年的理論研究與技術驗證,但在實際應用時,往往與生產平臺脫節。這都是源于微機電系統產品研發涉及的技術鏈條較長,且其“非標”特性使得它的研發與創新需要和產線有一段比較長的磨合期,對生產線“嚴重依賴”。


        而中試就是必經階段,也是國內傳感器廠家共同面臨的挑戰。據統計,科技成果經過中試,產業化成功率可達80%,未經中試成功率僅有30%?;诖?,作為到2020年上海市將培育30家研發與轉化功能型平臺中的“首發陣容”,也是上??苿撝行慕ㄔO“四梁八柱”中的重要節點之一,上海微技術工業研究院將“超越摩爾”8英寸研發中試線,作為其瞄準具有全球影響力科技創新的發力點,爭取在這一領域與國際領先水平并行。

        在“超越摩爾”領域,目前業界還普遍使用6英寸產線,工研院為何選擇8英寸?據介紹,8英寸是目前國際“超越摩爾”領域公認的領先技術,應該說是“彎道超車”的最佳選擇。落地上海嘉定工業區,近5,000平方米的高等級微納加工超凈廠房內,工研院與國際領先的晶圓廠密切合作構建的8英寸“超越摩爾”研發中試線,不僅實現了從研發到量產的無縫銜接,更豐富完整了國內的超越摩爾生態鏈,是對標國際產業競爭的關鍵一環。

        據悉,8英寸研發中試線將專注于“超越摩爾”傳感器產品技術的開發,可以全面開展表面、體、3D微納加工以及新工藝、新器件、新系統的研發,并根據“超越摩爾”產品技術特點部署了MEMS、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關工藝和量測設備,可承擔產品研發、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務,為企業走通從實驗室到市場化的“最后一公里”搭建平臺,助力 “超越摩爾”產品和技術從研發到量產的無縫銜接。



        與此同時,上海微技術工業研究院聯合國家集成電路產業投資基金等產業資本,共同設立“超越摩爾”產業基金,建立了“超越摩爾”領域的孵化器和加速器。上海微技術工業研究院還在美國硅谷、臺灣新竹、法國格勒諾布爾等地設有辦公室及研發中心,在全球范圍內布局創新網絡,真正營造“超越摩爾”產業創新生態。
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